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复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用，可提供局部超洁净之空气。(1)洁净隧道(Clean Tunnel)：以HEPA或ULPA过滤器将制程区域或工作区域100%覆盖使洁净度等级提高至10级以上，可节省安装运转费用。实验室净化工程是将实验室某一区域开辟出来，专门用于建造有空气洁净等级的、实验环境要求相对较高的实验室或者无菌室。此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离，以避免机器维修时影响工作及品质。ULSI制程大都采用此种型式。

福州同盛净化彩钢板有限公司。而采用喷干蒸汽和电热（电极）式加湿的方法。相对湿度越高,粘附的难去掉，但当相对湿度低于30%时，又由于静电力的作用使粒子也容易吸附于表面，同时大量半导体器件容易发生击穿。喷干蒸汽的加湿方法要注意干蒸汽加湿器有一个喷蒸汽效率的问题，并非喷入空调箱内的蒸汽全部加入到空调送风中，而其中有一部分变成凝结水排放出来。因此，选择干蒸汽加湿的加湿量时应考虑其喷蒸的效率。有的厂家给出的喷蒸效率为70%。福州同盛净化彩钢板有限公司

摘要:现代净化***间采用净化系统（其中包括百级、千级、万级净化系统）为保持***室的空气无菌提供了有利条件，但无论设备多么***，必须有一个正确的管理方法。以下就净化***室日常管理做如下总结。优点：构造简单、系统建造成本低，洁净室的扩充比较容易，在某些特殊用途场所，可并用无尘工作台，提高洁净室等级。***室全部为净化区域，分内外走廊、***室、洗手间、无菌物品贮藏间、准备间，贵重仪器放置间均在内走廊;污物的运送及接待参观人员走外走廊。根据***间的净化级别合理分配无菌***间、一般***间和污染***间。

净化区内搬运物料及机具搬运应轻拿轻放，防止碰撞壁板或顶板。工具或材料搬运时必须完全离开地面，不得在地面上拖行。3、有针对性地收集相关资料：包括相应的仪器设备、实验室操作流程等。管道等长度≥1.5米的材料必须由两人进行搬运，一人拿一端，不得一人独自搬运；净化区使用的脚手架必须清扫干净、踏板必须用保鲜膜包裹好，每个脚手架上必须配备一套清扫工具。所有设备（包括脚手架、推车等）车轮必须是橡胶轮子，而且轮子必须用透明胶带缠紧；不得在净化室进行任何电焊、钻孔、切割、打磨等加工作业，不得已时需向业主申请并做好防护措施

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