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***结束后将所有污敷料及垃圾，福州烘箱哪家好，分别放入专用污物袋中打包后，福州烘箱，从污物孔投掷外走廊，福州烘箱批发，彻底清洁室内物品及地面，减少污物在室内的停留时间。每周大扫除，采用湿式方法，用消毒液擦拭室内的所有物品。包括墙壁、回风口和污物道。***室通道入口放置消毒液垫，以保证室内地面的清洁。送风装置、空气压缩机、空气过滤器及管道需定期清洁、消毒，以防其本身污染。根据空调机组运行状况，及时更换空气过滤器。

复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用，可提供局部超洁净之空气。(1)洁净隧道(Clean Tunnel)：以HEPA或ULPA过滤器将制程区域或工作区域100%覆盖使洁净度等级提高至10级以上，可节省安装运转费用。此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离，以避免机器维修时影响工作及品质。ULSI制程大都采用此种型式。

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